항     목

세   부   항  목

사     양

3D 검사 모듈

카메라

2D RGB, 2/3” (2448x2048 Pixels, 20~60fps)

광학 분해능(um)

0.34 (20x 렌즈 기준)

렌즈

       Confocal : 5x, 10x, 20x

Interferometer : 20x

LED 광원

백색 (디폴트, 기본 수명 40,000 시간)

Z 이동 범위

40mm

Z 스테이지 직선성

< 0.5㎛/mm

Z 스테이지 분해능

5nm

최대 수직 측정 범위

PSI 20um, CSI 512um(x20기준),

Confocal & Ai Focus Variation 34mm

스탭 높이 반복성

< 3nm

Vertical Resolution

WSI 1nm, Confocal *(1)

샘플 반사율

0.05% ~ 100%

수직 측정 범위

PSI : 20(um), CSI : 512(um) (x20기준),

Confocal : 34(mm)

스캔 시간(sec)

10 (1 포인트, Z 범위 : 50um, x20 기준)

Turret

6 Position, Motorized Auto Turret

항   목

세  부  항  목

사    양

Recipe 작성

제품별 Spec. 등록

레시피 사용자 등록

기본 정보 입력

Tool No. / Lot No. / Model

형식에 맞게 정보 입력 (또는 바코드 정보 호환 가능)

측정 항목

3D 측정

프로파일을 이용한 폭, 높이, 거리 측정 지원

알고리즘

고객사 선택사항 (Option)

공간 평면 기울기 자동 보정 및 노이즈 필터링

측정 항목에 대한 자동 수치 취출 (Option)

검교정 방식

단차 : VLSI 국제 공인 표준 시편을 통하 검증 및 자동 교정

표면 조도 : 표준 시편을 통한 검증 및 자동 교정

측정 결과 출력

Tool No. / Lot No. / 모델…

사전 정의된 Raw Data로 출력

측정 방식

3D Confocal / Interferometer / Ai Focus Variation

Confocal과 Interferometer, Ai Focus Variation 스위칭 검사

(샘플 특성에 맞는 광학계 및 알고리즘 선택적 적용)

자동 정렬, 측정

정렬 패턴 자동 탐색 후 측정 위치 정렬하여 자동 측정 수행

제어 방식

PC 제어 방식

모션 제어 및 검사 프로그램을 한 개의 프로그램으로 구현

CPU, RAM, HDD, Monitor

CPU : Intel Core i7, OS : Windows 10 64bits,

RAM : 32GB, HDD : 10TB, SSD : 512GB, Monitor : 24” 

항     목

세   부   항  목

사     양

외 형

검사기 크기(mm)

1600 x 1650 x 1800 (가로 x 세로 x 높이)

도장

무정전 분체 도장

FRAME(스테이지 하부)

각파이프 용접 구조물

기구 구동 축

X/Y/Z 스테이지 (mm)

600 x 550 x 40