CMP PAD Conditioner Review System
제품 설명
DIAMOND 빠짐 검사
기존 검사 이미지 자동 저장 및 추후(고객사 납품 후) 재검사 지원
제품 특장점
제품 특장점
제품 화면
제품 사양
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항 목 |
세 부 항 목 |
사 양 |
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외 형 |
검사기 크기(mm) |
1000 x 800 x 1700 (가로 x 세로 x 높이) |
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도장 |
무정전 분체 도장 |
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FRAME(스테이지 하부) |
각파이프 용접 구조물 |
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기구 구동 축 |
X/Y/Z 스테이지 (mm) |
200 x 200 x 100 |
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X,Y Velocity (mm) |
250mm/sec. |
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X/Y 정밀도 (um) |
위치 정밀도 : ±5 |
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평탄도(um) |
스테이지 Base : ±30 |
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구동 모터 |
Stepping |
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로딩 / 언로딩 방식 |
없음 |
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제품 고정 방식 |
제품안착 |
CMP PAD 6개를 한번에 장착 |
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정전기, 이물 방지 |
없음 |
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진동 레벨 |
Class - C |
레벨 풋 하단 방진 패드 |
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전 원 |
AC 220 (V) 단상, 2P, 15 (A), 60 (HZ) |
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CDA |
N/A |
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Air Vacuum |
N/A |
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Weight |
Kg |
650 |
S/W 사양
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항 목 |
세 부 항 목 |
사 양 |
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Recipe 작성 |
제품별 Spec. 등록 |
레시피 사용자 등록 |
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기본 정보 입력 |
Tool No. / Lot No. / Model |
형식에 맞게 정보 입력 (또는 바코드 정보 호환 가능) |
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측정 방법 |
2D 측정 |
AI기반 검출 알고리즘 적용 |
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측정 항목 |
지원 측정 도구 |
쌍립, 쌍립 검출 및 카운트 |
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스캔 방식 |
전체 영역 스캔 |
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측정 결과 출력 |
Tool No. / Lot No. / 모델… |
사전 정의된 Raw Data로 출력 (협의 가능) |
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제어 방식 |
PC 제어 방식 |
모션 제어 및 검사 프로그램을 한 개의 프로그램으로 구현 |
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CPU, RAM, HDD, Monitor |
CPU : Intel Core i7, OS : Windows 10 64bits, RAM : 32GB, HDD : 10TB, SSD : 512GB, Monitor : 24” FHD |
